簡要描述：MLT 薄型鋁制直線電機平臺緊湊、薄型、高精度線性位移臺將 XM 系列的超精密性能與VP 線性位移臺系列的緊湊性相結合。 這些位移臺集合了適用于各種工業應用的MKS精密位移臺的最新創新設計和專業知識，同時包含了與 MKS 運動控制器一起使用所需的基本設置。

MLT 位移臺非常適合半導體、工業及科研中的典型掃描或點對點應用，用于計量、傳感器測試和校準、對準和拾放組裝。

MLT 薄型鋁制直線電機平臺產品規格

型號
	MLT25	MLT50	MLT100	MLT200	MLT250
行程范圍	25 mm	50 mm	100 mm	200 mm	250 mm
最大速度	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s
最小位移增量	5 nm	5 nm	5 nm	5 nm	5 nm
最大加速度	0.75 g	0.75 g	0.75 g	0.5 g	0.5 g
最大持續力	3 N	3 N	3 N	3 N	3 N
中心負載能力	50 N	70 N	70 N	70 N	70 N
精度，保證值	±0.5 µm	±0.7 µm	±1.25 µm	±2.5 µm	±3 µm
雙向重復精度，保證值	±0.15 µm	±0.15 µm	±0.15 µm	±0.15 µm	±0.15 µm
典型平面度	±1 µm	±2 µm	±3 µm	±5 µm	±10 µm
直線度，保證值	±1 µm	±2 µm	±3 µm	±5 µm	±5 µm
俯仰，保證值	±50 µrad	±75 µrad	±75 µrad	±150 µrad	±200 µrad
偏擺，保證值	±50 µrad	±75 µrad	±75 µrad	±125 µrad	±150 µrad
驅動方式	Linear Motor	Linear Motor	Linear Motor	Linear Motor	Linear Motor
螺紋類型	M4	M4	M4	M4	M4
重量	1.5 kg	1.7 kg	2.1 kg	3.1 kg	3.6 kg
MTBF	20,000 h (100% load, 60% duty cycle)	20,000 h (100% load, 60% duty cycle)	20,000 h (100% load, 60% duty cycle)	20,000 h (100% load, 60% duty cycle)	20,000 h (100% load, 60% duty cycle)
Compliance

MLT 薄型鋁制直線電機平臺特征

可靠的設計

每個 MLT 平臺的底座均采用高強度鋁合金制成，采用有限元方法 (FEM) 進行優化，以獲得最高的剛度和最佳的熱性能。 選擇部件，如長壽命和高負載交叉滾子軸承、大力直線電機和高精度直線編碼器，同時考慮了性能和可靠性。 內置限位開關可防止超程和碰撞。 進行了大量測試以確保MLT的高可靠性性能。

Ironless Motor

MLT series stages are equipped with MKS designed ironless motors that include hall effect sensors and thermistor in a very compact size. Compared to iron core motors, the main advantage of ironless motors is better speed stability (no cogging) and shorter settling time, which is critical for fiber alignment applications.

低運維成本

MLT 系列緊湊、薄型和快速平臺占用更少的空間，以更高的加速度和速度運行，降低了運行成本。 此外，由于它們的高可靠性設計，它們需要的初始投入低且需要的維護更少。

XY 和 XYZ 配置

MLT 可以利用可用的安裝孔安裝到 XY 和 XYZ 堆棧中。 X 和 Y 階之間需要磁屏蔽 MLT-XYPLATE 。 也可根據需要提供拖鏈。 預組裝的 XYZ 堆棧可用于短行程范圍。 Z 平臺具有磁性配重以適應一系列垂直負載，同時保持出色的定位性能。

即插即用 ESP 兼容

MLT 兼容支持即插即用 ESP 技術的 XPS 系列標準 MKS 控制器，無需復雜的驅動程序配置即可輕松啟動。 （注意XY配置需要手動設置參數。）

負載特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.