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          當(dāng)前位置:首頁  /  產(chǎn)品中心  /  旋轉(zhuǎn)和傾斜平臺  /  直接驅(qū)動電動轉(zhuǎn)臺  /  RGA 系列薄型高速高重復(fù)性直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

          RGA 系列薄型高速高重復(fù)性直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

          簡要描述:RGA 薄型高速旋轉(zhuǎn)臺非常適合需要低質(zhì)量和大孔徑的工業(yè)應(yīng)用,但需要快速和精確地旋轉(zhuǎn)晶圓卡盤等樣品架。

          快速旋轉(zhuǎn)、薄型、大光圈
          高重復(fù)性
          低擺動和低偏心率
          高扭矩和高加速度
          全鋼結(jié)構(gòu),具有高剛度和熱穩(wěn)定性
          即插即用 ESP 兼容性

          基礎(chǔ)信息

          產(chǎn)品型號

          廠商性質(zhì)

          經(jīng)銷商

          更新時間

          2025-11-20

          瀏覽次數(shù)

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          詳細(xì)介紹
          品牌Newport/美國價格區(qū)間面議
          產(chǎn)地類別進(jìn)口產(chǎn)品種類電動
          應(yīng)用領(lǐng)域綜合

          產(chǎn)品型號

          型號規(guī)格
          RGA150電動旋轉(zhuǎn)位移臺,高速,薄款設(shè)計
          RGA150MAP電動旋轉(zhuǎn)位移臺,高速,薄款設(shè)計

          產(chǎn)品規(guī)格

          型號RGA150RGA150MAP
          角度范圍360 °360 °
          最大速度1800 °/s1800 °/s
          最小位移增量0.01 mdeg0.01 mdeg
          峰值驅(qū)動扭矩11 Nm11 Nm
          中心負(fù)載能力50 N50 N
          雙向重復(fù)精度,典型值±0.0975 mdeg±0.0975 mdeg
          精度,典型值±4 mdeg
          精度,保證值±8 mdeg±1 mdeg
          擺動,典型值±12 µrad±12 µrad
          擺動,保證值±26 µrad±26 µrad
          偏心率,典型值±0.5 µm±0.5 µm
          偏心率,保證值±1 µm±1 µm
          孔徑90 mm90 mm
          MTBF20,000 hours @ 30% duty cycle20,000 hours @ 30 % duty cycle
          電纜長度5 m5 m
          重量4.5 kg4.5 kg


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